申购单号: | CB102992024000004 | 签约时间: | 发布竞价结果后7天内签约合同 |
申购主题: | 反应离子刻蚀机 | 送货时间: | 合同签订后7天内送达 |
采购单位: | 江苏大学 | 安装要求: | 免费上门安装(含材料费) |
报价要求: | A | 收货地址: | 江苏省/镇江市/京口区/**** |
发票类型: | 增值税专用发票 | 币种: | 人民币 |
预算: | 450000.0 | 付款方式: | 货到验收合格后付款 |
备注说明: | None |
采购内容 | 数量 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 |
反应离子刻蚀机 | 1.0台 | 450000.0 | 创世威纳 | DISC-RIE-601 | 1.设备主要原理与功能设备利用射频天线,通过感应耦合方式在放电腔中产生高密度等离子体,刻蚀工作台同时引入射频偏压,在射频偏压作用下,等离子体垂直向下对未被掩蔽的被刻蚀材料表面进行物理轰击,并与材料表面发生化学反应,达到对样品进行化学物理相结合刻蚀的目的。 设备刻蚀材料广泛,包括并不限于单晶硅、非晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、TaN、Ta、Ti、W、Mo、聚合物等。设备采用全自动化控制。2.设备主要技术指标 2.1腔体尺寸:Φ300mm*H300mm,经氧化处理的铝质桶形卧式结构,上盖自动开闭 2.2极限真空度:≤2*10-4Pa; 2.3静态升压:系统停泵关机后12小时后,真空度≤5Pa 2.4系统进清洗充干燥N2解除真空,短时暴露大气后抽气抽至5*10-3Pa时间小于15min,至9*10-4Pa≤40min。 2.5射频阴极尺寸:Φ200mm。 2.6刻蚀均匀性:≤±5%(Φ6英寸) 2.7主要工艺气体配置:SF6、CF4、O2、Ar(视具体刻蚀工艺)★2.8电源配置:耦合电极(上电极):13.56MHz,1000W,自动匹配;偏压电极(下电极):13.56MHz,600W,自动匹配 2.9包含自动压力控制系统★2.10刻蚀距离自动调节范围:60mm-120mm,调节精度:1mm 2.11水冷工作台温度:10℃~35℃ 2.12控制方式:基于PLC及工控机的全自动、半自动控制方式,包含安全报警系统3.设备主要配置 3.1真空刻蚀腔体、样品架系统、一体机架、辅助设施,1套 3.2复合分子泵1台,抽速600L/s 3.3直联旋片式真空泵1台,抽速8L/s 3.4超高真空电动调节插板阀1台,Φ150mm 3.5真空测量系统1套 3.6自动压力控制系统1套,含薄膜真空计3.7射频电源及自动匹配器:1000W,1套;600W,1套 3.8质量流量控制器:6台 3.9工艺气路:6条 3.10射频耦合电极及射频引入器1套 3.11可调距离射频阴极及射频引入器1套 3.12自动控制系统1套。PLC及模块、工控机、显示器。 3.13刻蚀台冷却水机1台★3.14系统冷却循环随机及空气压缩机:各1台 | 1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号(品牌和型号均需提供),如不填写视为不满足;2、设备免费质保期:整机质保1年,设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修。修期内,接到报修电话后,我司将在4小时内做出维修方案决定并提出解决方案。如8小时内无法电话解决问题,维修工程师将在2个工作日内到达现场(含节假日),并在2个工作日(含节假日)内解决问题或提出明确解决方案;3、设备必须原厂包装,必须当用户面拆封;4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明,申购用户认可的,方可成交;5、其他按行业标准提供服务; | |
文章推荐:
反应离子刻蚀机
中国石油化工股份有限公司齐鲁分公司运维中心炼油区域变配电部分设备设施安全隐患治理电力设备在线监测系统招标公告
采购修正带自动化生产设备
手持式电度表校验仪、485转光纤模块等电气备件一批